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丙二醇甲醚 PGME
CAS NO 107-98-2 主要用途為和 PGMEA 調和後作為光阻稀釋液及清洗液，也可單獨使用於光阻管路清洗。
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醋酸丙二醇甲醚酯PGMEA
CAS NO108-65-6 主要用途為晶邊清洗液以及其他晶邊清洗液配方成分。
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環己酮ANONE
CAS NO108-94-1 光阻助溶劑用途。
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醋酸正丁酯NBAC
CAS NO 123-86-4 主要用途為晶邊清洗液配方以及顯影。
